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洁净室二次配技术:真空系统的基础知识介绍
2021/1/26 9:06:13 浏览次数:1559


真空

所谓“真空”,是指在给定的空间内,压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。 国际真空行业通用的“真空度”,也是最科学的,是用绝对压力标识;指的是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”,但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜,因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下:       相对真空度 = 绝对真空度(绝对压力)- 测量地点的气压


真空区域划分(GB3163)图片

压力单位表图片
实现和应用

在地球表面,真空通常是对特定的密闭空间抽气来获得,通常用来抽气的设备有容积泵、分子泵、气体捕集泵或真空发生器等。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务且应用十分广泛:
  • 利用真空制造产品(如电子管)
  • 使用真空环境作为工艺(如真空镀膜)
  • 真空环境提纯(如冶炼中真空电弧重熔)
  • 利用真空的物理特性隔热(如太阳能发电所使用的真空管)等

源:Swagelok世伟洛克

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