六、洁净室的环保工程

（一）洁净室的废水处理

1、工业洁净室特别是电子工业洁净室排放的废水主要成份有：含酸废水、含碱废水、含氟废水、含磷废水、有机废水等不同行业、不同产品、不同工艺其废水的成份不同，但都必须进行处理，处理后的废水达到国家排放标准方能排放。

半导体集成电路工厂的废水处理大都采用化学中和沉淀法处理。其典型流程如下：

2、生物洁净室特别是生物安全实验室排出的废水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物质，而且产品品种、生产工艺不同废水的成份也不同。因此含有害微生物的废水应按成份分别收集，分别灭活、消毒灭菌后达标才能排放。

（二）洁净室的废气处理

1、工业洁净室，特别是电子工业洁净室排放的废主要成份有：一般废气、热废气、有机废气、酸碱废气、含磷等特殊废气、含粉尘的废气等，不同行业、不同产品、不同工艺其排放的废气的成份不同，但都必须处理达到国家排放标准后方能排到室外。

（1）一般由生活用房、值班室、卫生间排出的一般废气可直接排到室外。

（2）排放的有机废气超标时必须经过有机废气处理设备处理达标后再排放有机废气，处理方法有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等。

（3）含酸碱废气在生产工艺中排放的较多，一般都是经过淋液湿式洗气吸收塔进行中和处理达标排放。

（4）排放的热废气一般情况下可直接排放，如果温度较高必须采取隔热措施以免伤人。

（5）含尘废气必须经过适当的除尘装置除尘后再排至大气。

（6）含磷、含砷等特殊废气首先防止在排气系统中产生化学反应并通过专用的废气处理设备处理后达标排放。通常处理方法有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等等。

2、生物洁净室，尤其是生物安全实验室的排风一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物，因此这类排风须经过过滤灭菌后再排放。

如手术室的排风须经过中效过滤方能排到室外；P3实验室的排风须经过高效过滤器过滤后方能排到室外；P4实验室的排风须经过两级高效过滤器过滤后才能排到室外。为了安全最好采用袋进袋出的高效过滤器装置。

七、洁净室设计-净化空调设计程序步骤

（一）收集国家和地方有关洁净室建设的政策标准规范

1、洁净度等级的国家标准和国际标准ISO 14644

2、“洁净厂房设计规范”GB 50073-2013

3、“电子工业洁净厂房设计规范”（修订中）

4、“制药工业洁净厂房设计规范”（修订中）

5、“医院洁净手术部建筑技术规范”GB50333-2013

6、“实验动物环境及设施”GB14925-2010

7、“生物安全实验室建筑技术规范”GB50346-2011

8、“洁净室施工及验收规范”GB50591-2010

9、“电子工业洁净厂房施工及验收规范”（制订中）

10、“民用建筑供暖通风与空气调节设计规范”GB 50736-2012

11、“通风与空调工程施工质量验收规范”GB50243-2016

12、“建筑设计防火规范”GB50016-2014

（二）该项目的“可行性研究报告”以及上级主管部门对报告的批复意见；该项目的“设计任务书”和建设方对该项目建造的有关要求、意见和建议。

（三）该项目建厂地区的气象资料、水文地质资料和周围大气污染的环境状况。

（四）洁净室内生产工艺对净化空调的要求和必须收集的生产工艺的技术条件和有关数据、资料

1、洁净厂房内的生产工艺设备平面布置图和设备清单，以及工艺对吊顶高度的要求。

2、工艺对洁净室内的洁净度、温度及精度、相对湿度及精度、正压、振动、噪声、照度、静电、屏蔽等要求，越具体越好。

3、洁净室内生产工艺设备的产热量、产湿量、产尘量。各设备的安装功率、效率、热转化系数和同时使用系数等。

4、洁净室内生产工艺设备的局部排风量、排放气体的性质、成份、浓度和废气排放量以及废气治理方法。

5、洁净室内生产运行的班次、运行规律、生产的最大班人数。

（五）洁净厂房的建筑和结构的情况和有关的数据

1、洁净室建筑的平面布置图、立面图、剖面图。各房间的分割、面积、名称、层高。

2、洁净室围护结构（墙、地、顶、门、窗等）的建筑材料以及其热工性能。

3、建筑结构状况、结构的承载能力，尤其是旧建筑的改造项目结构的安全十分重要。

（六）全厂冷源、热源、电源的情况及供应

1、冷热源的性质、参数和供应量。有无加湿用的蒸汽等。

2、电源的性质、参数和供应量。

（七）地方消防、环保部门对该项目建设的要求和意见。

（八）其他相关专业（给水排水、气体动力、建筑结构、强电弱电等）的要求和意见。

（九）设计时所用的设备、材料、配件的性能、参数和价格的资料

1、工艺平面和建筑平面的规划

工艺平面一般由甲方工艺技术人员根据工艺流程和工艺设备以及工艺生产的需要进行合理规划。

工艺平面规划后在满足工艺平面规划的前提下，布置换鞋、更衣、吹淋、厕所等人流辅助生活用房、物流吹淋辅助用房和走廊参观以及消防疏散等通道，最大限度地保证生产工艺的流程短捷和火灾时人员的安全疏散。

2、净化空调系统和排风系统的划分原则

根据建筑专业提供的建筑平面图，工艺专业提供的工艺设备平面图和工艺对各洁净室的洁净度，温、湿度等环境的要求，即可进行净化空调系统的划分工作。

3、净化空调系统的划分原则

（1）洁净度，温、湿度及其精度相同或相近的洁净房间宜划为一个净化空调系统。便于洁净度和温、湿度的控制。

（2）距离较近的洁净房间宜划为一个系统，可减少系统管道的长度和管道交叉。

（3）有条件时可将4级、5级单向流和6级、7级、8级非单向流组成混合流净化空调系统。

（4）洁净室不宜与一般空调房间合为一个系统。

（5）使用规律和使用时间不相同的洁净室不宜合为一个净化空调系统。

（6）产尘量大、发热量大、有害物多、噪声大的房间宜单独设计为一个系统。

（7）混合后会产生剧毒、引起火灾和爆炸的房间不应合为一个净化空调系统。

（8）有剧毒和易燃易爆的甲、乙类房间应单独设系统，而且应为不回风的直流系统。

4、工艺设备局部排风系统的划分原则

（1）工艺设备的局部排风系统不宜过大，每个排风系统的排风点数不宜过多，这样排风管理调节方便，排风效果好。

（2）一个排风系统不宜跨在两个或两个以上的净化空调系统。

（3）混合后产生剧毒、爆炸、火灾、凝水、结晶和有害物的排风不应合为一个排风系统。

（4）使用规律不同房间和设备的排风不应合为一个排风系统。

来源：洁净工程联盟

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