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电子工业洁净厂房电气设计规范(二)
2019/12/3 10:35:57 浏览次数:111

1.3 通信安全保护装置

1.3.1 洁净厂房内应设置通信设施,通信设施的设置应符合下列要求:

1洁净室(区)内应设置内外联系的通信设施。每个工序宜设置有线语音插座;2洁净室(区)内设置的无线通信系统,不得对电子产品生产设备造成干扰;

3数据通信装置应根据管理及电子产品生产工艺的需要设置;

4通信线路宜采用综合布线系统,综合布线系统的配线间不应设在洁净室(区)内。

 

1.3.2 洁净厂房应设置火灾自动报警系统,其防护等级应符合现行国家标准《火灾自动 报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。当防火分区面积超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的最大建筑面积允许值时,保护等级应为一级。


1.3.3洁净厂房的消防控制室不应设在洁净室(区)内。消防专用电话总机的设置应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范3GB 50116的有关规定,并应在下列场所设置消防专用电话:

1洁净室(区)的入口处;

2应急处理中心;

3中央控制室;

4特种气体管理室。


1.3.4洁净厂房内火灾探测器的设置应符合下列规定。

1洁净生产区、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾探测器,其中洁净生产区、技术夹层应设置智能型探测器;

2当洁净厂房防火分区面积超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定时或顶部安装点式探测器不能满足现行规范设计要求时,在洁净室(区)内净化空调系统混入新风前的回风气流中应设置灵敏度严于0.01%obs/ m的早期烟雾报警探测器;3硅烷储存、分配间(区),应设置红外线-紫外线火焰探测器;

4洁净生产区、走道和技术夹层(不包括不 通行的技术夹层)应设置手动报警按钮和声光报警装置。

 

1.3.5 洁净厂房应设置火灾自动报警及消防联动控制。控制设备的控制及显示功能应符 合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规 范》GB 50116的有关规定,洁净室(区)火灾报警应进行核实,当确认火灾后,在消防 控制室应对下列各项进行手动控制:1关闭有关部位的电动防火阀,停止相应的净化空调系统的送风机、排风机和新风机,并接收其反馈信号;

2启动排烟风机,并接收其反馈信号;3在消防控制室或低压配电室,手动切断有关部位的非消防电源。


1.3.6 洁净厂房内下列场所应设置气体泄漏报警装置:

1易燃、易爆、有毒气体的储存分配间(区);

2易燃、易爆、有毒气体的气瓶柜和分配阀门箱内;

3工艺设备的气体分配箱和排风管内。

1.3.7 洁净厂房内下列场所应设置气体泄漏报警装置:

1应自动启动相应的事故排风装置;

2应自动关闭相关部位的进气阀;

3应自动关闭相关部位的电动防火门、防火卷帘门;

4报警信号应发送至消防控制室和气体控制室。应自动启动泄漏现场的声光警报装置和应急广播。

1.3.8洁净厂房内易燃、易爆、有毒气体泄漏报警值应为其爆炸下限值或允许浓度值的20%。


1.3.9洁净厂房设置的事故应急广播系统应,符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计 规范》GB 50116的有关规定。洁净室(区) 内应采用不影响空气洁净度等级的扬声器。


1.3.10洁净厂房内的安全保护系统应设置应急电源。


1.3.11洁净室(区)火灾报警、气体泄漏报警系统的控制、通讯和警报线路应采用阻燃型电缆,电缆敷设应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。


1.3.12洁净厂房内的各类安全保护系统均应可靠接地,系统接地应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116 的有关规定。


条文说明:

1.3.1电子工业洁净厂房是一密闭性建筑,为确保正常生产、安全生产,在洁净室(区) 内设置通信设施,是加强内外联系和实现科学管理的重要手段。

1洁净室内设置内外联系的通信设施,主要指建立内外语音和数据通信。鉴于洁净室内的工作人员是主要的尘源,人员走动时的发尘量是静止时的5~10倍,为了减少洁净室内人员的走动,保证室内洁净度,在每个工位宜设一个有线语音插座。

2若洁净室(区)设有无线通信系统时,应采用功率小的微蜂窝无线通信等系统,以避免对生产设备造成干扰。

3洁净室生产工艺大多采用自动化操作,需要网络来支持;现代化生产管理,也需要网络来支持。因此,需在洁净室(区)设局域网的线路及插座。

4为减少洁净室(区)内人员的活动,最大限度地减少不必要人员进入,通信配线及管理设备不应设置在洁净室(区)内。

 

1.3.2电子产品生产用洁净厂房中的丙类生: 产厂房,按照现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的要求,其火灾保护等级应为二级。当此类洁净厂房中防火分区面积不超过现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB 50016要求的防火分区的最大 允许建筑面积时,是可行的。

但有些电子工业洁净厂房由于工艺流程的需要,其防火分区的面积超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定,有的甚至超过几倍。另外,电子产品生产工艺复杂,有些电子产品生产中要使用多种易燃、有毒化学溶剂和易燃、有毒气体、特种技术气体。洁净厂房是密闭性空间,一旦发生火灾,热量无处泄漏,火情扩散速度较快,且通过风管或风道彼此串通,烟火会沿着风管或风道迅速蔓延。电子工业洁净厂房中的生产设备又很昂贵,加强对洁净室的火灾报警 系统设置是非常必要的。所以,在防火分区技 面积超过规定时,应将保护等级提高为一级。

1.3.3 由于洁净室(区)进出程序比较复杂,一般未做身体净化的人员是不能进入的。当洁净室内火灾报警时,又需要进行火灾确认后方可手动控制空调机等设备的动作,因此,应该在洁净室(区)内,包括下技术夹层内、空调机房、动力站房、各类控制室内均应设置固定消防电话分机,建立洁净室与消防控制室的消防专业通信线路,以便消防控制人员通过电话及时了解洁净室(区)和相关房间内的火灾情况。


1.3.4制定本条的依据是:

1电子工业洁净厂房内火灾探测器选择时,应充分考虑洁净室(区)的环境条件及房间构造特点,如高度、面积、空气流向、流速、有无对火灾探测器的干扰等,以及火灾探测器的特性和技术指标。选用智能型探测器可比较可靠的探测火灾。

2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶显示器生产用洁净厂房,洁净生产区的面积较大,防火分区的面积大大超过现行骨架标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的最大容许建筑面积,为强化消防设计技术措施,本条明确规定在洁净室(区)内净化空调系统混入新风前的回风气流中,应设置高灵敏度的早期烟雾报警探测器,把着眼点放在不可见烟雾的探测,尽早发现火情,把火灾消灭在萌发阶段,为避免事态扩大争取到更多宝贵的时间。据了解,近年来这类洁净厂房均在回风气流中安装了高灵敏度早期报警火灾探测器,虽然费用较高和安装、维护要求严格,但仍然得到了用户和消防部门的认可。 

3在室温下,硅烷是一种在空气中可以自燃的气体,硅烷一旦泄露,很快燃烧,不产生烟雾。而红外-紫外线(UV-IR)双重扫描的火焰探测器,对硅烷产生的火灾反应速度最快,故规定硅烷储存、分配间(区)应采用火焰探测器。

4洁净室(区)的上下技术夹层、静压箱有时是有操作人员在现场,当这些区域发生火灾时,为了第一时间发出警报,便于人员疏散,应设置手动报警按钮和声光报警装置。

1.3.5在消防控制室平时对下列设备不应自动联动,应对洁净室(区)的火灾报警进行合适,当确认火灾后,才能在消防控制室进行手动控制。

1由于一旦关闭电动火阀,停止送风,洁净室(区)的环境就会遭到破坏,恢复起来需要一定的代价和时间,所以规定应在火灾报警核实、确认火灾后,才能实施“关闭有关部位的电动防火阀,停止相应的净化空调系统的送风机、排风机和新风机,并接受其反馈信号。”

2为防止误报造成不必要的损失,宜在消防值班室或低压配电室采用人工方式,对洁净室(区)空调循环风机、新风机等各类设备的非消防用电进行控制。


1.3.6~1.3.8制定这三条的根据是

1在一些电子产品生产过程中使用品种多样的易燃、易爆、有毒气体,如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6, AsH3、PH3、CI2 等。这些气体一旦泄漏,将可能产生火灾或爆炸、或危及操作人员安全、或对设备造成损害。因此,必须设置有效、安全、可靠的气体探测和控制系统,避免、防止因气体泄技术漏造成事故。气体探测器按原理分,有电化学式、化学纸带式、红外技术和固态金属氧 化物技术等;按采样方式分,有泵吸式和扩散式。应根据所监测的气体物化特性和使用环境特点合理选用。

2因在各种气体的输送管道和特种气体的气拉汁瓶柜、分配阀门箱内的气瓶阀、减压阀、分配阀、切换阀等的连接处容易产生气体泄漏,在特气柜更换气瓶时因操作不当阀门未关紧,管道接口、阀门受腐蚀或连接不牢固等原因,易产生气体泄漏。因此,在这些易 发生泄漏的场所,沿程管道的阀门或接头易技 泄漏处和气瓶柜、分配阀门箱内均应设置检测点。气瓶柜、分配阀门箱均设有强制排风系统,如有气体泄漏时,泄漏的气体大部分被吸入到排风管内,所以应将采样点设置在排风管口处。

3气体泄漏报警装置报警后,为了及时切断相应气体的气源,防止继续泄露,造成着火、爆炸事故,应自动联锁相应气体输送管道的进气阀门。

4美国消防协会发布NFPA 318《洁净室消防标准》,第6.6.1条规定:易燃或有毒气体在使用中,应设置于配有排气通风的柜内,柜内应设置气体检测报警和自动切断气体供应设施。第6.6.3条规定:在可能有易燃、有毒气体泄露的场所、阀门或装配件或接头处,应设置气体报警和排气通风设施一旦报警时,应能切断气源。第6.6.5条规定对可能发生易燃气体泄漏的场所,所设置爆炸下限20%的报警装置。以上各条要求是制定本条规定的主要依据。



1.4自动控制

1.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散 式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。


1.4.2 洁净厂房应对净化空调、供热、 冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。


1.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。


1.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。


1.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。


条文说明

      1.4.1、1.4.2 电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术、自动化仪表、计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术,只有正确合理地运用各门技术,系统才能达到控制要求。为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求,公用动力工程系统、净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性。其次,对于不同的控制设备,要求具有开放性,以适应实现全厂联网控制的要求。电子产品工艺技术发展迅速,电子工业洁净厂房设计应具有灵活性、扩展性,为此要求控制设备具有可扩展性,以满足洁净厂房控制要求的变化。
      集散式网络结构具有良好的人机交互界面,能较好地实现对生产环境、各类动力公用设备实施检测、监视和控制,可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房。当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时,也采用常规仪表进行控制。但无论采用何种方式,控制精度都应满足生产要求,并能做到稳定、可靠运行,达到节能的要求。

 1.4.3洁净室(区)需要保持一定的静压差,这是实现洁净室(区)空气洁净度的基本要求,所有洁净室(区)都应采用各种不同的静压差控制方法,如余压阀、压差变送器等。


  1.4.4净化空调系统采用电加热器对送入清技术净室(区)的洁净空气进行加热时,通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上,一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时,可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故,净化空调系统采用电加湿器时,加湿器加热汽化纯水对送技泳入洁净室(区)的洁净空气增湿,通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内,一旦发生纯水供水中断或无风时,也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故。为此作了本条的规定,并为强制性条文。


      1.5接地

      1.5.1 功能性接地、保护性接地、电磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系统。接地电阻值应按其中最小值确定,且不应大于10。


      1.5.2当电子设备的功能接地要求分开设置时,应设有防止雷电反击设施。分开设置的接地系统接地极应与共用接地系统接地极保持20m以.上的间距。


      1.5.3洁净厂房防雷接地设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定。


      条文说明

      1.5.1 电子工业洁净厂房有多种用于不同目的的接地,宜采用共用接地系统,以避免分开接地不同电位所带来的不安全因素,以及不同接地导体间的耦合影响。不同的接地可以采用单独的接地线,但接地极系统是共用的,并应遵循等电位连接的原则。


      1.5.3接地系统设计应以防雷接地系统为基础,各种接地应包括在防雷接地系统保护范围之内。